Reisbereik
20 mm
Oplossing
0,125 μm
Herhaalbaarheid
<1μm
Rechtheid
<2μm
Parallellisme
<5μm
Pitchen
10″(50μrad)
Geeuwen
Maximum snelheid
5 mm/sec
Laad capaciteit
10 kg
Gewicht
1,5 kg